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半導(dǎo)體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量，電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級，氣體供應(yīng)，都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍，正因如此，發(fā)達(dá)國家都在積極發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展，而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域，且發(fā)展勢頭強(qiáng)勁，它影響到國民經(jīng)濟(jì)和國防的許多方面，因此，有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣，我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚，資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來，中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，因此，特種氣體，電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，杭州氣體，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國際競爭力。

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。

氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別， 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮?dú)狻⒔?jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)氣體一般要求生產(chǎn)量大， 但對氣體的純度要求不高。特種氣體則是用途有別于一般氣體的氣體，是一個(gè)籠統(tǒng)的概念。它在純度、品種、性能等方面都是嚴(yán)格按照一定規(guī)格進(jìn)行生產(chǎn)和使用的。一般認(rèn)為， 它是由電子氣體、高純石油化工氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體組成。

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